钽酸锂/铌酸锂抛光液

(LiTa03，简称LT)晶体，是集压电、铁电、热释电、声光及电光等性能于一体的多功能晶体材料，在声表面波(SAW)器件、光通讯、激光及光电子等领域中有着广泛的应用，是制作滤波器和谐振器的关键材料。浙江新创纳开发出了钽酸锂/铌酸锂抛光液系列产品。目前广泛应用于国内各大晶体生长和加工厂家，市场占有率70%以上。

性能指标

酸性钽酸锂抛光液

优点:

1、抛光速率大于15um/h。

2、抛光表面平整光滑，无明显划伤，表面粗糙度达到0.2nm以下。

3、酸性抛光液，抛光速率较快。

应用:钽酸锂等晶圆抛光。

碱性钽酸锂抛光液

优点:

1.抛光速率大于10um/h。

2.抛光表面平整光滑，无明显划伤，表面粗糙度达到0.15nm以下。

3.碱性抛光液，抛光后的的表面质量较好。

主要指标:LTV<0.5,TTV<3,Ra<0.3。

应用:钽酸锂等晶圆的精抛。

包装方式

1、包装方式:25KG、250KG、1000KG

2、保存条件:贮存温度为5-40°C